磁控溅射金属靶时，无法起辉的原因有很多，常见主要原原因有：
1. 靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可
3. 起辉电源是否正常------------检查靶电源
4. 靶与地线之间短路----------关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下；----------压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。
5. 永磁靶表面场强是否下降太多？---------如果下降太多，需要更换磁钢。
6. 起辉溅射真空度与前次的差别？---------更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉